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Alicat助推Inchfab納米級制造系統(tǒng)
點擊次數:1657 時間:2025-01-10

Alicat助推Inchfab納米級制造系統(tǒng)

在當今連接日益緊密的世界中,對超出常規(guī)電子產品的新型微米和納米級設備的需求不斷增長。這些器件通過IC制造工具制造時往往需采用非標準工藝, 而依賴于微米和納米制造技術設備的生產非常昂貴且耗時。

 

在過去的幾年中,Inchfab一直致力于開發(fā)超低成本微細加工和納米加工設備的完整平臺,更經濟地生產電子、機械、化學和生物設備。Inchfab將先進的處理能力與大尺寸的基板分離,Inchfab已經證明,使用較小的基板也可以提高性能,并優(yōu)于大尺寸基板。

 

 

 

遇到的問題

INCHFBA

 

在基板制造過程中,所需的薄膜材料需用化學氣相淀積來制備?;瘜W氣相淀積是把各成分元素以及摻雜劑都以氣體形式導入反應爐,在晶圓表面發(fā)生化學反應,從而生成所需的固態(tài)薄膜并淀積在其表面。

 

在化學氣相沉積中,真空是必須的,因為在有大氣氣體存在的情況下,化學反應是不起作用的。

 

研發(fā)意味著測試,允許障礙和反應性氣體的新配方,可能多次改變流量比和氣體,且所有的必須同時保持準確,氣體流量控制的準確性不言而喻。

 

 

解決方案

ALICAT

 

Alicat為幫助Inchfab克服這一挑戰(zhàn)提供了的準確性、響應能力和控制氣體流量需求。Alicat半導體壓力控制器和MFC系列質量流量控制器為Inchfab提供了一個性能、可靠性和價格之間無需折衷的解決方案,這使其成為Inchfab系統(tǒng)的選擇。

 

Alicat半導體MCE系列真空氣體質量流量控制器采用了層流差壓(DP)技術,可同時測量98種氣體的質量流量、體積流量、壓力和溫度,并進行全溫度和壓力補償。MCE系列控制器低至0-0.5sccm、高至0-20 slpm、控制響應時間為50-100毫秒。Alicat質量流量控制器以驚人的準確度和響應時間大大提高實驗質量。

Inchfab 化學氣相淀積系統(tǒng)中使用Alicat控制器的流程圖

Alicat很高興能成為這個重要的挑戰(zhàn)的一部分,Alicat的質量流量控制器適應性使得化學氣相沉積越來越好,助推許多未實現(xiàn)的技術早日實現(xiàn)。

 想獲得與Inchfab一樣可靠的質量流量計和控制器,請即刻與我們聯(lián)系吧!

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