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引言: 前面發(fā)過有關(guān)真空壓力控制器應(yīng)用的文章，收到不少小伙伴后臺留言咨詢，此篇文章我們將帶領(lǐng)大家了解更多它的相關(guān)參數(shù)。
艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器旨在快速控制抽真空過程的壓力，支持內(nèi)置真空傳感器或外接真空計，具有較寬的真空壓力測量/控制范圍(0.01 Torr至1000Torr)。
Conductor系列控制器集成了多種電容膜片真空計(CDG)用于測量系統(tǒng)的壓力。通過調(diào)節(jié)被抽出真空系統(tǒng)的氣流量與進(jìn)入系統(tǒng)的氣流量達(dá)到平衡，從而調(diào)節(jié)系統(tǒng)真空度。
上游控制的計算示例：
真空泵的抽速：每秒2升
維持腔體壓力：10 TorrA
所需流量：實際壓力÷標(biāo)況壓力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM
使用艾里卡特真空控制器在單獨氣體供應(yīng)裝置的上游進(jìn)行壓力控制時，您無需擴大流量，只需使用較小的控制閥，即可提高控制性能并減少泄漏。
即使面對快速變化的過程工況(例如流量或溫度的波動)，艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器也能迅速控制并保持壓力穩(wěn)定在設(shè)定值。
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快速響應(yīng)
快速響應(yīng)的閥門和特殊的PID控制算法構(gòu)成了1毫秒的控制回路。
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控制J準(zhǔn)
j度可溯源至NIST
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通訊連接
通過以下方式輕松與您的工業(yè)網(wǎng)絡(luò)協(xié)議集成：
· Alicat*的多點RS-232串口通訊
· RS-485串口
· Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)
· Modbus TCP/IP
· DeviceNet
· EtherCAT
· EtherNet/IP
· Profibus
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背壓控制
后置閥選項可以讓您的Conductor控制器控制過程腔體和真空泵之間的流量。將控制器安裝在過程腔體和真空泵之間，用于限制真空泵的抽氣流量，從而控制腔體的壓力上升或下降或維持穩(wěn)定。如果你無法在系統(tǒng)上游安裝壓力控制器，但又想j確控制系統(tǒng)壓力，就可以使用后置閥門的背壓控制器。
概況
壓力量程
- 絕壓量程(以高真空為基準(zhǔn))
- 10、100和1000 TorrA單傳感器模塊
- 1000＆10 TorrA雙傳感器模塊
性能
- 量程比 ≅ 1000：1
- 常規(guī)j度校準(zhǔn)，可溯源NIST：+/- 0.5％滿量程(零點漂移可通過真空去皮調(diào)整)
- 典型控制響應(yīng)時間：≥50ms(可調(diào))
- 傳感器響應(yīng)時間：2毫秒
- 顯示響應(yīng)時間：<10毫秒
- 傳感器預(yù)熱時間：*的預(yù)熱時間-2小時
· 適用于大部分用途的-15分鐘
運行條件
- 氣體兼容性：與多種氣體兼容，包括大部分具有腐蝕性的氣體
· 關(guān)于腐蝕性氣體可參閱Alicat氣體清單，查看接液材料的兼容性。此真空壓力控制器不適用于液態(tài)水
- 接液材料：302、303、304和430FR不銹鋼、黃銅、FKM和FFKM、氧化鋁、可選316L不銹鋼主體
- 工作溫度：+10至+ 50°C
- 傳感器損壞壓力：6 kTorrG(116 PSIG)
工藝連接件
- Compression
- SAE
- 偉洛克®(包括管，VCO®和VCR®)
電氣接頭
- 6針鎖緊型工業(yè)接頭
- 標(biāo)準(zhǔn)8針mini-DIN接頭
- 8針螺紋型M12接頭
- 9針引腳
- 15針引腳
如果我們內(nèi)置的CDG真空傳感器無法滿足你的量程或性能的需求，或您想使用自己的真空傳感器，請與Alicat 中國代表處聯(lián)系以獲得協(xié)助，以確保您的控制器能夠快速穩(wěn)定的運行。
Conductor
用于真空控制的快速響應(yīng)絕壓控制器
